レーザー干渉計にZygo社の6インチVFA（VeriFire Asphere）を使用し、λ/40を保証します。（平面：3面合せ法、球面：二球面法を使用）スティッチング法により軸対称非球面レンズ、及び高NAレンズの面精度計測を実現します。スティッチング法を用いて、高NAシリンドリカルレンズの面精度を広範囲に保証します。また、干渉計によるヌル計測が不可能な特殊形状においては、精密三次元プロファイラー（UA3P）により、50nm以下の精密な計測保証を行います。