自由曲面レンズ・自由曲面ミラー

軸外し非球面ミラーに代表される、非軸対称の表面形状や連続関数で定義された様々な光学素子を提供します。
超精密3次元プロファイラ（UA3P）とレーザー干渉計（VeriFire Asphere）により、今まで実現が難しかった、自由曲面におけるλ/10クラスの精度が実現可能です。

	超高精度	高精度	標準精度	汎用精度
サイズ	φ5 – φ200mm
材質	一般光学ガラス、合成石英、低熱膨張ガラス、Si
形状タイプ	非球面シリンダー、トーリック、軸外し非球面、自由曲面、部分回転楕円面、放物面、ゼルニケ多項式面、ウォルタータイプミラー
形状誤差	＜ PVr 30nm	＜ PVr 100nm	＜ PV 1,000nm	＜ PV 5,000nm
表面粗さ	＜ RMS 0.2nm	＜ RMS 0.5nm	＜ RMS 1nm	＜ RMS 4nm
直径公差	±0.01mm	±0.1mm	±0.2mm	±0.5mm
肉厚公差	±0.01mm	±0.1mm	±0.2mm	±0.5mm
外観精度(S/D)	ISO10110-7／MIL-0-13830に対応可能
アプリケーション	レーザ加工機 EUV光学素子 X線光学系宇宙望遠鏡	レーザ加工機 UV光学系	レーザ加工機可視光学系 HUD	レーザ加工機赤外イメージング